In addition to a spectral ellipsometer, there are a probe 9; a second light source 10 that becomes an excitation light emission means for emitting excitation light for generating near-field light; and a 3D actuator 11 that becomes a movement means for allowing the probe to approach a sample emission surface of the measurement light. 分光エリプソメータに加えて、プローブ9と、近接場光を発生させる励起光を照射する励起光照射手段となる第2の光源10と、上記プローブを測定光の試料照射面に近付ける移動手段となる3Dアクチュエータ11とを備えている。 - 特許庁
A measuring method for glossiness includes the following procedure: measuring light is applied to a samplesurface at an incidence angle φ; an angle distribution function of scattered light intensity is measured; and glossiness Gφ is determined based on a differential value with respect to a scattering angle of the angle distribution function of the scattered light intensity. サンプル表面に対して入射角φで測定光を照射し、散乱光強度の角度分布関数を測定し、前記散乱光強度の角度分布関数の散乱角に関する微分値に基づいて光沢度Gφを決定することを特徴とする光沢度の測定方法。 - 特許庁
An electric field for opening a punch hole on the cell surface is impressed on the reaction field into which a sample solution including cells and magnetized fine particles are introduced and a magnetic field is applied to the reaction field in order to introduce the magnetic fine particles through the punch hole. 本発明は、細胞を含む試料溶液と磁性を有する微粒子が導入されている反応場に細胞表面に穿孔を開けるための電界を印可し、その穿孔より磁性を有する微粒子を細胞内へ導入するため反応場に磁界を印可することにより達成する。 - 特許庁
To provide a chemical amplification type resist composition which exhibits sufficient transmissivity when an exposure light source for F_2 excimer laser light (157 nm) is used, has a fast etching speed, and improves roughness of a samplesurface after dry etching, and to provide a pattern forming method using the same. 160nm以下、具体的にはF_2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源使用時に十分な透過性を示し、エッチング速度が速く、かつドライエッチングを実施した後のサンプル表面の荒れが改善された化学増幅型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
The immunoassay is constituted in such a way that, in immunochromatography, under the existence of a surface-active agent, a sample to be inspected in developed on a test piece comprising a stationary phase to which a first specific bonding substance capable of being specifically bonded to the substance, to be inspected, on a water-absorbing substrate. 免疫クロマトグラフ法において、界面活性剤の存在下、被検試料を、(a)吸水性基材上に、被検物質に特異的に結合しうる第1の特異的結合物質が固定化された固定相を有する試験片に展開することを特徴とする、免疫測定法。 - 特許庁
The reaction quantity measurement method of the invention introduces carrier magnetic particles, the sample, and the reaction reagent into a retention zone, stirs a reaction mixture by generating surface acoustic waves in the retention zone, continuously applies a magnetic field to the retention zone, and discharges the reaction mixture from the retention zone. 本発明にかかる反応量測定方法は、担体磁性粒子、試料および反応試薬を保持区画へ導入し、保持区画に表面弾性波を発生することで反応混合物を攪拌し、保持区画に磁界を継続的に印可し、保持区画から反応混合物を排出する。 - 特許庁
This paper ejecting device carries paper wastes and trial prints along a carrying passage 28 over a regularly formed pile 14 in order to sample them as necessary, and delivers them to an abutting surface 27.4 constituted of a carrying wheel part 27.1 of a suction belt conveyor 26. 排紙装置は、損紙や試し刷りを必要に応じて抜き取るために、これらを搬送軌道28に沿って、普通であれば形成されるパイル14を超えてさらに搬送し、吸引ベルトコンベヤ26の搬送ホイール間部27.1によって構成された当接面27.4に渡す。 - 特許庁
When a change of the image observation magnifying power is instructed during the scanning of the probe, the changing action of the image observation magnifying power is made at the middle point of the image observation visual field, and the tip of the probe can be prevented from colliding with the samplesurface. 同様にして、プローブの走査中に像観察倍率の変更が指示された場合にも、像観察倍率の変更の動作を像観察視野の中点の位置で行うようにすることによって、プローブの先端と試料表面とが衝突することを防止することができる。 - 特許庁
To provide a device for attaining a new scanning method which is always not associated with the contact of a probe with a samplesurface, such as that in a non-contact mode or a point contact mode, and a scanning method thereof, while maintaining the versatility of a contact mode, in physical property measurement of a scanning type probe microscope. 走査型プローブ顕微鏡の物性測定において、コンタクトモードの汎用性を維持しつつ、非接触モードやポイントコンタクトモードのように、常時探針と試料表面の接触を伴わない新たな走査方法を実現する装置及びその走査方法を提供する。 - 特許庁
A contact position C when a probe 6 head made a contact with a sample 8 surface is calculated and specified, based on all displacement signals T1 taken into the controller 14 during the period, and at the same time, a proper probe load value L at the time of scanning is set up based on the contact position. そして、この間にコントローラに取り込まれた全ての変位信号に基づいて、探針先端が試料表面に接触したときのコンタクト位置Cを算出して特定すると同時に、コンタクト位置に基づいて走査時の適正な探針荷重値Lを設定する。 - 特許庁
The film has a shrinkage ratio in the main shrinking direction of at least 20% when a sample cut into a square shape of 10 cm×10 cm is immersed in a warm water of 80°C for 10 sec and then taken out and is coated with a coating liquid exhibiting antifogging properties on one surface thereof. フィルムを10cm×10cmの正方形状に切り出した試料を80℃の温水中に10秒浸漬して引き上げたときの主収縮方向の収縮率が20%以上でかつフィルム片面に防曇性を有する塗布液を塗布した事を特徴とする。 - 特許庁
The scanning table 6 has a rotary center shaft 17 provided in a vertical direction and also has a hollow part 16 for arranging the sample 3 provided around the rotary center shaft 17 and a mounting surface 15 for placing an X-ray tube device 4 and an X-ray detector 5 provided in parallel to a horizontal direction. スキャンテーブル6は、鉛直方向となる回転中心軸17を有し、試料3を配置するための中空部16を回転中心軸17周りに有し、X線管装置4及びX線検出器5を載置するための載置面15を水平方向に平行に有する。 - 特許庁
A groove 11a larger than the unevenness of the surface of the sample is provided to the metal seal 11, and the flow rates of Ar gas allowed to flow to the irradiation cell 6 and the auxiliary cell 15 are regulated in a well-balanced state and the flow rate of the Ar gas flowing through the groove 11a is made constant or zero. そして、メタルシール11には試料表面の凹凸よりも大きな溝11aが設けられ、照射セル6と補助セル15に流すArガス流量をバランスをとって調節し、溝11aを流れるArガス流量を一定にするか、もしくは、無くするようにする。 - 特許庁
To provide a method for evaluating a three-dimensional structure capable of checking or analyzing a failure of a process for manufacturing various devices or parts by allowing a user to know a shape of a sample to be evaluated from the surface to the interior or the distribution of the atom in three dimensions. 3次元構造評価方法に関し、簡単な手段に依って、評価対象物の表面から内部へ向かう形状や元素の分布の変化を立体的に知ることができるようにして、種々なデバイスや部品などの製造プロセスの確認や故障解析など行うことを可能にする。 - 特許庁
Since abnormal electric discharges or contaminations are not generated during long-term electric discharge, and the optical performance of the light transmission medium 141 at its edge face will not deteriorate, the surface of the sample W and the state of the plasma can be measured with a high precision and with long-term stability. 長時間にわたる放電においても、貫通孔115Bで異常放電や異物を発生することがなく、かつ光伝送体141の端面の光学性能が劣化しないので、試料Wの表面やプラズマの状態を精度よく長期的に安定して計測できる。 - 特許庁
To provide a thin, compact and inexpensive sample of a cosmetic material to be used two or three times, having a cosmetic layer whose surface and periphery are smooth without omission of printing and hardly letting the cosmetic layer drop off when the cosmetic material is rubbed off by a puff for use. 化粧料層の表面や周縁部が滑らかで印刷持の抜けがなく、使用時にパフで化粧料を掻き取る際にも化粧料層の脱落が生じ難く、薄手でコンパクトにもかかわらず2〜3回分の化粧料が付着された試供品を低コストで提供する。 - 特許庁
An advertisement sheet 14 formed by a material having light transmissivity but lacking in a see-though property and preventing a user from clearly seeing rear commodity samples and on the surface of which advertisement contents are printed is arranged in a space 15 between a commodity sample display part 4 and a transparent panel 8 so as to be optionally moved up and down. 商品見本陳列部4と透明パネル8の間の空間15に透光性を有するが透視性に乏しく後方の商品見本をはっきりとは確認できない材料で形成され表面に広告内容を印刷した広告シート14を昇降移動自在に配置する。 - 特許庁
To inhibit the rise of a temperature of the sample liquid and to improve the measuring accuracy under a condition of the attenuated total reflection in a sensor utilizing the attenuated total reflection by the surface plasmon resonance and the like, by reducing the total light intensity of the optical beam entering into a measurement chip without impairing S/N. 表面プラズモン共鳴等による全反射減衰を利用したセンサーにおいて、S/Nを悪化させることなく、測定チップに入射する光ビームの総光量を低減して、試料液の温度上昇を抑制し、全反射減衰の状態の測定精度を向上する。 - 特許庁
Thus, by having an air layer to not to exist between the end face 43 of the optical fiber 40 and the wall surface of the capillary 30, loss in the illumination light L due to the existence of the air layer is not generated, and optical measurement of a sample S can be performed with high sensitivity, and dispersion can be reduced. これにより、光ファイバ40の端面43とキャピラリー30の壁面との間には、空気層が存在しないようにして、空気層の存在による照明光Lの損失が生じないようにしてサンプルSの光計測を高感度で行うことができばらつきを低減することができる。 - 特許庁
The reaction quantity measurement method introduces a measurement reagent into the retention zone, deactivates the magnetic field, stirs the measurement reagent by generating the surface acoustic waves in the retention zone, and measures the reaction quantity of the sample by considering the stirred measurement reagent and carrier magnetic particles as an object to be measured. さらに、反応量測定方法は、保持区画へ測定試薬を導入し、磁界を解除し、保持区画に表面弾性波を発生することで測定試薬を攪拌し、攪拌した測定試薬および担体磁性粒子を測定対象として試料の反応量を測定する。 - 特許庁
After a solid support having a carbon layer formed on its surface and a substance in the sample are separated by gel electrophoresis, the substance separated into a gel is transferred to the solid support and the substance on the solid support is eliminated/ionized to perform the mass analysis of a plurality of substances. 表面にカーボン層が形成された固体支持体、及び試料中の物質をゲル電気泳動で分離後、ゲル中に分離された物質を該固体支持体上に転写し、該固体支持体上の物質を脱離/イオン化することにより複数の物質を質量分析する方法。 - 特許庁
To provide a confocal microscopic system capable of yielding a synthetic image whose luminance irregularity is restrained to be little by correcting the eccentricity of the light quantity of an original image in the case of generating the synthetic image in a wide range by connecting a plurality of images acquired by shifting the measuring range of the surface of a sample. 試料表面の測定範囲をずらして取得した複数の画像をつなぎあわせて広い範囲の合成画像を生成する際に、元の画像の光量偏心を補正して輝度むらの少ない合成画像を得ることができる共焦点顕微鏡システムを提供する。 - 特許庁
To realize a method for measuring film thickness and optical constant which requires neither a reflection preventing process for a sample having a thin film formed on a transparent substrate nor a special optical element for removing reverse-surface reflected light and its adjustment for a measurement optical system. 透明基板5a上に薄膜が形成された試料6に対して反射防止処理を必要とせず、測定光学系に裏面反射光を除去するための特別な光学要素もその調整も必要としない膜厚及び光学定数の測定方法を実現する。 - 特許庁
An imaging control unit composed of a TG 4, an AFE 5, a synchronizing control section 6 and a system control section 7 controls an imaging device 3 under a predetermined imaging condition, and picks up an observation image of a sample, formed on a light receiving surface of the imaging device 3, under a microscope. TG4、AFE5、同期信号生成部6、及びシステム制御部7で構成される撮像制御部は、所定の撮像条件の下で撮像素子3を制御して、撮像素子3の受光面に結像した標本の顕微鏡での観察像の画像を撮像させる。 - 特許庁
The present apparatus (35) includes a substrate (80) having a plasmon resonant surface on which the sample (82) is supported, a source of a beam of light, and a lens assembl having a tip region and a nanolens (62), and the nanolens (62) is composed of one or more plasmon resonance particles (PRPs) on the tip region. この装置(35)は、サンプル(82)が支持されているプラズモン共鳴表面を有する基板(80)、光ビーム源、ならびにチップ領域およびナノレンズ(62)を有するレンズアセンブリを有し、このナノレンズ(62)は、そのチップ領域上の1つ以上のプラズモン共鳴粒子(PRP)からなる。 - 特許庁
To easily scan a linear polarized beam at a high speed, high reliability, and high repeated positioning precision, without using a mechanical moving part, in an optical magnetic domain detector using a Kerr effect or a Faraday effect for scanning a samplesurface two-dimensionally by the linear polarized beam to detect a magnetic domain. 直線偏光ビームで試料表面を二次元走査して磁区検出を行う、カー効果やファラデー効果を利用した光学的磁区検出装置において、機械的可動部を用いずに高速で、信頼性が高く、繰り返し位置決め精度が良く、簡便に直線偏光ビームを走査すること。 - 特許庁
To provide an inspection device and an inspection method therefor, which perform the noncontact detection of the magnetism of a sample to be inspected successively, while moving a superconducting quantum interference device (SQUID) magnetic sensor itself over the surface of an object to be inspected, using the SQUID, and which obtains the magnetic distribution of the object to be inspected or the like to perform the nondestructive inspection. 超電導量子干渉素子(SQUID)を用いてSQUID磁気センサ自体を被検体表面を移動させながら、非接触で被検査試料の磁気を連続的に検出し、被検体の磁気分布等を得て非破壊的な検査を行う検査装置とその検査方法を提供する。 - 特許庁
To reduce bulk effects generated by refractive index change of a solvent for enhance measuring precision of a coupling condition between a sensing substance and a specimen, when a sample solution being supplied to a measuring unit, in a measuring instrument using attenuation of total reflection by surface plasmon resonance or the like. 表面プラズモン共鳴等による全反射減衰を利用した測定装置において、試料液を測定ユニットに供給した時に、溶媒の屈折率変化により生じるバルク効果を低減し、センシング物質と被検体との結合状態の測定精度を向上する。 - 特許庁
The signal corresponding to the excitation field generated on the surface of the sample 5 is detected as a change in oscillation frequency of the probe 1 or the phase change between the vibration of the probe 1 and that of the signal source 4 by means of a frequency detector/phase detector 8 and a synchronization detector 9. 周波数検出器/位相検出器8および同期検波器9により、試料5表面に発生した励起場に対応する信号を探針1の振動周波数変化として検出するか、もしくは探針1の振動と信号源4の振動との位相変化として検出する。 - 特許庁
Based on the location information and the height information of a protrusion generated in a calcined laminate for sample, a recess 24a is formed in a region on the surface of a raw laminate 24 for product where expansion is predicted, and then the raw laminate 24 for product is calcined. 焼成済のサンプル用積層体に発生した凸部の位置情報、高さ情報に基づき、生の製品用積層体24の表面の膨張することが予測される領域に、凹部24aを形成した上で、生の製品用積層体24を焼成するようにした。 - 特許庁
To provide a sample warper which can control a conveyer belt transfer rate in response to the number of simultaneously warped yarns to eliminate the unevenness of the finished surface of the yarns wound on a warping drum, wherein the unevenness is caused by the change in the number of the simultaneously warped yarns, and to provide a method for warping. コンベアベルトの送り量を整経する糸の同時整経本数に応じて制御し、整経ドラム上に巻かれた糸の巻上がり表面における同時整経本数の変動に起因する凹凸を解消することができるようにしたサンプル整経機及び整経方法を提供する。 - 特許庁
The front surface of the practicing paper sheet 1 is printed, in addition to the character sample book 2, with figures 3-1 to 3-4, 4-1 to 4-3, a circular frame 5, a cross-shaped line 5, a circular auxiliary frame 7, and a frame 8 indicating a position where where a name is written. 練習用紙1の表面には、文字手本2のほか、文字手本2の筆順を示す数字3−1〜3−4,4−1〜4−3、円形の枠5、枠5の中心を示す十文字状の線6、円形の補助枠7、名前を書く位置を示す枠8を印刷する。 - 特許庁
The prism 20 includes a groove part 25 used for the flow passage 24 for sending sample solution to the linker film 23, an injection part 26 and a discharge part 27, and the sealing plate 21 abuts on the prism 20 from the bottom surface side and blocks the groove part 25, to thereby form the flow passage 24. プリズム20には、リンカー膜23に試料溶液を送液するための流路24となる溝部25と注入部26と排出部27とが設けられており、封止板21が底面側からプリズム20に当接して溝部25を塞ぐことにより、流路24が形成される。 - 特許庁
An observation area of the surface of a sample is scanned by irradiating an electronic beam, an image (SEM image) is acquired based on a detection signal of a secondary electron by a detector 99a arranged at a diagonal upper part of the observation area, and length L of a shadow of a pattern 82 which appears on the image is detected. 試料表面の観察領域を電子ビームを照射で走査し、観察領域の斜め上方に配置された検出器99aによる二次電子の検出信号に基づいて画像(SEM画像)を取得し、その画像に現れるパターン82の影の長さLを検出する。 - 特許庁
In this electron beam device, an electron beam, within thermal field emission electron beams emitted from the cathode 21 formed of carbide of a transition metal such as Ta, having a relatively larger angle formed between an optical axis and itself is entered into openings 32, and each reduced image of the openings is reductively projected on the surface of a sample. 電子線装置は、Ta等の遷移金属の炭化物からなるカソード21から放出される熱電界放出電子線のうち、光軸とのなす角度が大きい方の電子線を開口32に入射させ、該開口の縮小像を試料面に縮小投影する。 - 特許庁
In an active matrix type image display apparatus 10 which displays an output image through a liquid crystal display surface, a sample hold voltage of each pixel is rewritten with a high gradation voltage different from an input signal in one frame period of an input video signal through a data driver (source driver) 14. 液晶表示面を介して出力画像を表示するアクティブマトリクス型画像表示装置10において、データドライバ(ソースドライバ)14を通して、入力映像信号の1フレーム期間内で入力信号とは異なる高い階調の電圧で各画素のサンプルホールド電圧を書き換える。 - 特許庁
DNA primer array is brought into contact with a sample to be assayed under DNA synthesis conditions sufficient to produce the enzymatically generated labeled target nucleic acids on the surface of the array at a prescribed location at which the DNA primer is hybridized with the nucleic acid analytes to produce a double-stranded nucleic acid. 本発明の方法では、DNAプライマが核酸検体にハイブリダイズされて二本鎖核酸を生ずる箇所である所定の位置で、アレイの表面に酵素的に標識された核酸を生成させるのに十分な条件下で、DNAプライマアレイを分析対象試料に接触させる。 - 特許庁
Pressure is reduced for the injection port in the sealed space 9 to get lower than a pressure value provided by head pressure generated between a liquid face of the ink tank 13 and the opening end of the nozzle from the maximum leak-tight pressure by surface tension of the nozzle, and the liquid sample is injected under the condition provided therein. 密閉空間9は、ノズルの表面張力による最大耐漏圧から、インクタンク13の液面とノズルの開口端との間に生じる水頭圧を減じた値よりも小さい圧力が注入口に対して減圧され、その状態で液体試料が注入される。 - 特許庁
Upon finding the critical angle θc, the control means 14 elongates the body 12 of a piezoelectric element in the direction A and, at the same time, contracts the body 13 of another piezoelectric element 13 in the direction -A so that the angle between the center axis of a multi-capillary 15 and the surface of the sample may become θc. そして、圧電素子制御手段14は全反射臨界角θcを求めると、マルチキャピラリ15の中心軸Oと試料面との成す角度がθcとなるように、前記圧電素子体12をA方向に伸ばすと共に前記圧電素子体13を−A方向に縮める。 - 特許庁
A defect inspection method for inspecting the defect of the surface of a sample, includes the step of detecting the defect by addition processing of a detecting signal in which the amount of the misalignment of a pixel of detection signals calculated by comparing the distribution of Haze signal and predetermined light quantity distribution is corrected. 試料の表面の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、Haze信号の分布と予め定めた光量分布とを比較して算出した検出信号の画素ずれ量を補正した検出信号を加算処理して欠陥を検出する工程を有する欠陥検査方法。 - 特許庁
A CP selective deflector 32 deflects the electron beam surely from the samplesurface during the beam blanking period in order to adjust the synchronization error during the beam blank period, so that the synchronization error of a plurality of electrodes of the deflector 32 is below an allowable value, thus surely preventing the patterning failure due to the beam leakage. CP選択偏向器32の複数の電極部の同期誤差が許容値以下となるように、ビームブランク期間内に同期誤差の調整を行うため、ビームブランク期間に確実に電子ビームを試料面からそらすことができ、ビーム漏れによるパターニング不良を確実に防止できる。 - 特許庁
To provide a method for immediately finding out a focal position from one obtained image without searching an optimum position by obtaining an image while slightly mechanically moving a sample or an optical member when a focal surface is obtained by using an optical microscope. 本発明の課題は、光学顕微鏡を用いて焦点面を求める際にわずかずつ試料若しくは光学部材の機械的移動を行いながら画像を取得して最適な位置を探索することなく、得られた1画像から即座に合焦位置を割り出すことが出来る手法を提示することにある。 - 特許庁
The secondary electron detector 20 is equipped with a scintillator 22 for absorbing the secondary electrons discharged from a samplesurface, onto which primary charged particles are irradiated and to convert it into light, and a photoelectric conversion device 26 for converting and amplifying the light, guided through a light guide 24 into electrons. 一次荷電粒子が照射された試料表面から放出される二次電子を吸収して光に変換するシンチレータ22と、ライトガイド24を通して導かれた光を電子に変換して増幅する光電変換装置26を備える二次電子検出器20である。 - 特許庁
The sensor of a multiprobe type is provided with a plurality of probes formed by crystal growth with a semiconductor substrate 1 as a base, and is provided with a function, with the biological sample as an object, of detecting the physical phenomenon or the chemical phenomenon on the surface or in the inside. 半導体基板1を下地として結晶成長させた突起(プローブ)2を複数有するマルチプローブタイプのセンサであって、生体試料を対象とし、その表面あるいは内部の物理現象または化学現象を検出する機能を有することを特徴とする。 - 特許庁
By fixing a nucleic acid through a glycidyl group on the surface of a polymer and in the inside of the polymer and crosslinking an excess of glycidyl group with a polyvalent amine, the nucleic acid can be efficiently and firmly fixed to a polymer gel and further the nucleic acid in a sample can be stably detected with high sensitivity. 高分子表面及びその内部にグリシジル基を介して核酸を固定化し、過剰のグリシジル基を多価アミンで架橋することによって、核酸を効率的に強固に高分子ゲルに固定化でき、さらにこのゲルを用いて検体中の核酸を安定に、しかも高感度で検出できる。 - 特許庁
White light from a light source 2 is dispersed by a spectroscope 4, is emitted to a half mirror 12 by Schwarzschild mirrors 8, 10, is reflected by the half mirror 12 and enters the Schwarzschild mirror 14, and is made to condense on a samplesurface 16 by the Schwarzschild mirror 14 for irradiation. 光源2からの白色光は分光器4で分光され、シュワルツシルト鏡8,10によってハーフミラー12に射出され、ハーフミラー12で反射されてシュワルツシルト鏡14に入射し、シュワルツシルト鏡14によって試料面16に集光されて照射される。 - 特許庁
Furthermore, because the Z map obtained from an image signal reflecting a composition information to the Z map obtained from the picture signal reflecting the surface structure is displayed by overlapping the Z map with other colors, a spatial distribution in the sample of a substance of a specific composition can be grasped distinctly. また、表面構造を反映する画像信号から得られるZマップに組成情報を反映する画像信号から得られたZマップを別な色で重ねて表示することで、特異的な組成の物質の試料内での空間分布を明瞭に把握することを可能にする。 - 特許庁
In the case of focusing on a mirror surfacesample or the like, focusing is performed by moving a fixed diaphragm holding member 21 along a guide groove 20, inserting a fixed diaphragm 22 into an optical path by a radial distance (t), and making a fixed diaphragm image normally existing out of observation field viewable within the observation field. 鏡面標本などのピント合わせを行なう場合、固定絞り保持部材21をガイド溝20に沿って移動し、固定絞り22を半径距離tだけ光路内に挿入し、通常観察視野外にある固定絞り像を観察視野内で見えるようにしてピント合わせを行なう。 - 特許庁
A main control system 34 previously forms the voltage map indicating the quantity of the focal point displacement of the secondary electron beam B2 in a detecting surface of an electron beam detecting unit 30 in response to the quantity of the charge up generated when a sample 4 is irradiated with the primary electron beam B1, and stores this voltage map in a memory device 43. 主制御系34は、試料4上に一次電子ビームB1を照射した際に生ずるチャージアップ量に応じ、電子ビーム検出器30の検出面における二次電子ビームB2の焦点ずれ量を示す電圧マップを予め作成し記憶装置43に記憶する。 - 特許庁
To provide a probe for a scanning probe microscope that sets contact resistance to low impedance of the same degree as a bulk metal and measures the position of the probe, which traces the surface of a sample being a target measuring article by a means other than an optical means, and to provide the scanning probe microscope using the same. 接触抵抗をバルク金属と同程度の低インピーダンスにすると共に、光学的手段以外の手段により、対象測定物である試料表面をトレースするプローブの位置を計測する走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁