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ultraviolet exposure meterとは 意味・読み方・使い方
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「ultraviolet exposure meter」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
To efficiently self clean by optical cleaning a contaminant adhering to places other than a regular exposure course in a semiconductor exposure meter using ultraviolet rays for exposure.例文帳に追加
露光用に紫外線を用いる半導体露光装置において、通常の露光経路以外の箇所に付着した汚染物質を、光洗浄によって効率良く自己洗浄する。 - 特許庁
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