ion irradiationsとは 意味・読み方・使い方

By these ion beam irradiations, the thin film having c-axis oriented along the orthogonal projection of the ion beam onto the surface of the substrate is formed.例文帳に追加

このようなイオンビーム照射により、基板表面へのイオンビームの正射影に沿ってc軸が配向したに薄膜が形成される。 - 特許庁

Further, the device is provided with a plurality of ion beam supply units 50 each to supply ion beams 54 of a ribbon shape to each treatment chamber 10, and to irradiate ion beams 54 on a whole surface of each substrate 2 in collaboration with the transfer of the substrates 2, and a plurality of ion beam irradiations are carried out on the whole surface of each substrate 2 by the plurality of the ion beam supply units 50.例文帳に追加

更に、各処理室１０にリボン状のイオンビーム５４をそれぞれ供給して、基板２の搬送と協働して、各基板２の全面にイオンビーム５４をそれぞれ照射する複数のイオンビーム供給装置５０を備えていて、各基板２の全面に対して複数のイオンビーム供給装置５０による複数のイオンビーム照射をそれぞれ行うよう構成されている。 - 特許庁