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オキシ塩化バナジウムの英語
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英訳・英語 vanadium oxytrichloride
「オキシ塩化バナジウム」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
塩素を含むバナジウム化合物と水蒸気とを含む原料ガスを基体上に供給し、バナジウム化合物（例えば塩化バナジウム、オキシ塩化バナジウム）と水蒸気とを反応させ、基体上に酸化バナジウムを主成分とする薄膜１を形成するに際し、原料ガスに塩化水素を添加する。例文帳に追加
When a thin film 1 consisting mainly of vanadium oxide is formed on a substrate by supplying a vanadium compound containing chlorine and a gaseous starting material containing steam onto the substrate and allowing the vanadium compound (for example, vanadium chloride, vanadium oxychloride) to react with steam, hydrogen chloride is added into the gaseous starting material. - 特許庁
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