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ダイレクト露光方式の英語
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露光描画装置１０は基板ＳＷに対しパターンを直接描画するダイレクト方式の露光装置である。例文帳に追加
The alignment drawing apparatus 10 is a direct alignment apparatus that directly draws a pattern on a substrate SW. - 特許庁
ダイレクト方式においても十分な塵埃除去効果を得ることができる露光描画装置を提供すること。例文帳に追加
To provide an alignment drawing apparatus in which a sufficient effect of removing dust can be obtained even in a direct system. - 特許庁
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