ナイフエッジ検査の英語

第１のナイフエッジ2071と第２のナイフエッジ2072は直角方向となっているので、試料2001への入射ビームの偏向方向によらず均一な感度で，試料上の微小突起物の検査を高速で行うことが可能となる。例文帳に追加

Since the first knife edge 2071 and the second knife edge 2072 are set in right-angle directions, the microprojection on the sample can be detected at high speed and with uniform sensitivity, not depending on the direction of polarization of an incident beam on the sample 2001. - 特許庁