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ブレークイン装置の英語
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新しい研磨パッドを装着した時の所定研磨速度に達して安定化するまでの時間、すなわちブレークイン処理に要する時間を短縮し、化学機械研磨装置の稼動率を向上させることができる研磨パッドの前処理方法を提供する。例文帳に追加
To provide a pre-processing method for an abrasive pad, which reduces a time until a prescribed polishing speed is obtained and stabilized when a new pad is mounted, that is a time required for break-in process, resulting in the increased operating rate of a chemical-mechanical polishing device. - 特許庁
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1
break-in device
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