プラズマ波動の英語

アンテナ側磁力線９で示す外部磁場に沿って伝播するヘリコン波やスロー波等の波動をアンテナ３で励起するプラズマ発生装置において、プラズマ６を大面積化し、プラズマ境界端面を明確化し、基板等の処理材料１１の位置選択を可能にすること。例文帳に追加

To generate plasma in a large area, to clarify the plasma boundary end face and to allow the position selection of a process material such as a substrate in a plasma generator exciting the wave motion of the helicon wave or slow wave propagating along the external magnetic field shown by the magnetic lines of force on the antenna side with an antenna. - 特許庁

磁場発生器１，２とアンテナ７との組合せは、アンテナの内側の領域のうちの外側領域に誘導結合プラズマ１３を生成し、且つ、その領域のうちの内側領域に波動励起プラズマ１２を生成する。例文帳に追加

The combination of the magnetic field generators 1 and 2 and the antenna 7 generates inductively coupled plasma 13 on the outer area in an area inside the antenna and generates wave-excited plasma 12 in the inner area. - 特許庁