放射線パターンの英語

本発明のリソグラフィ装置は、放射線を発生するための放射線源と、放射線を調整するための照明システムと、調整された放射線にパターンを付与するためのパターン付与デバイスと、パターンが付与された放射線を基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを含む。例文帳に追加

The lithographic apparatus includes the radiation source for generating the radiation, an illuminating system for adjusting the radiation, a patterning device for patterning the adjusted radiation, and a projection system for projecting the patterned radiation onto a target section of a substrate. - 特許庁

本発明のリソグラフィ装置は、放射線を発生するための放射線源と、放射線を調整するための照明システムと、調整された放射線にパターンを付与するためのパターン付与デバイスと、パターンが付与された放射線を基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを含む。例文帳に追加

The lithographic device includes the radiation source that generates the radiation, an illuminating system that adjusts the radiation, a pattern giving device that gives a pattern to the adjusted radiation, and a projection system that projects the pattern given radiation onto the targeted section of a substrate. - 特許庁

本発明のリソグラフィ装置は、放射線を発生するための放射線源と、放射線を調整するための照明システムと、調整された放射線にパターンを付与するためのパターン付与デバイスと、パターンが付与された放射線を基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを含む。例文帳に追加

The lithographic apparatus includes a radiation source for generating radiation, an illumination system for controlling radiation, a pattern applying device for applying a pattern to the controlled radiation, and a projection system for projecting the patterned radiation to a target portion of a substrate. - 特許庁

環状オレフィン系重合体を含む感放射線組成物であって、放射線に対する感度に優れ、放射線によるパターン膜の形成が可能で、パターン膜の欠陥が少ない樹脂膜を与える感放射線組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive composition including a cyclic olefinic polymer and giving a resin film excellent in sensitivity to radiation, capable of forming a patterned film under radiation and ensuring the patterned film with scarce defects. - 特許庁

多くの都市が、主要高速道路の放射線状のパターンを示している例文帳に追加

many cities show a radial pattern of main highways発音を聞く  - 日本語WordNet

重合体、感放射線性樹脂組成物およびレジストパターン形成方法例文帳に追加

POLYMER, RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR RESIST PATTERN FORMATION - 特許庁

感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、重合体及び化合物例文帳に追加

RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING PATTERN, POLYMER, AND COMPOUND - 特許庁

感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法例文帳に追加

RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN - 特許庁