生産性測定基準の英語

位置決め装置と搬送ロボットとを具える半導体製造装置における従来の設備立ち上げの際の各ポートでの基準位置教示が全て手動で、熟練技術者による長時間作業が必要であり、定常生産工程でも位置決め装置が必要でウエハの受け渡し、測定と時間が掛かり生産性が低いという問題を解決することにある。例文帳に追加

To solve the problem of low productivity due to time taken for delivery and measurement of a wafer, requiring long hours of work by a skilled engineer, and requiring a positioning device even in a steady production process, owing to entirely manual teaching of a reference position at each port when initiating a conventional facility in a semiconductor manufacturing device having the positioning device and a carrying robot. - 特許庁