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線形多様体の英語
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半導体素子の各レイヤーの多様な特性を測定するための測定マークにおいて、隣接する曲り形パターンと互いに多様な間隔で離隔した線分形枝パターンを有した多数個の破線形L型パターンを含むマーク。例文帳に追加
The measurement marks for use in measuring the various characteristics of each layer of the semiconductor device includes multiple staggered L-shaped patterns including adjacent vertices, and legs that include line segments having variable spacing between them. - 特許庁
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