高速原子ビームの英語

複数のガーネット単結晶の表面を、真空中にてイオンビーム照射、高速原子ビーム照射又はプラズマ処理の何れかを行うことによりエッチングして、清浄及び活性化し、前記表面同士を前記イオンビーム照射、高速原子ビーム照射又はプラズマ処理の動作ガス以外の雰囲気にさらすことなく接触させて直接接合することによってファラデー回転子を形成する。例文帳に追加

Surfaces of the plurality of garnet single crystals are etched by performing ion beam irradiation, high-speed atom beam irradiation, or plasma processing under a vacuum to be cleaned and activated, and then the surfaces are brought into contact with each other without being exposed to an atmosphere except working gas of the ion beam irradiation, high-speed atom beam irradiation or plasma processing, and directly joined together, thereby forming the Faraday rotator. - 特許庁

基板ホルダ３０および転写台４０を回転させながら、基板１０上の複数の薄膜１２ａおよび転写台４０の接合面にアルゴンの高速原子ビーム５を照射し、基板１０から複数の薄膜１２ａを剥離し、転写台４０上に複数の薄膜１２ａを積層して接合することにより微小構造体を形成する。例文帳に追加

While rotating a substrate holder 30 and a transfer table 40, the joining face of plural thin films 12a on a substrate 10 and the transfer table 40 is irradiated with an argon high speed atom beam 5, plural thin films 12a are peeled from the substrate 10, plural thin films 12a are laminated/joined on the transfer table 40, a micro structure is formed. - 特許庁