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Bath-to-Bath Transport Timeとは 意味・読み方・使い方
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By using such cleaning equipment 80, the mold 100 is moved at a proper time by the substrate transport mechanism 30 and the mold driver 50 to be dipped in the cleaning bath 81, thus ultrasonically cleaning the bottom surface of the mold 100 with a cleaning liquid L.例文帳に追加
このような洗浄装置８０により、適宜タイミングで、型１００を基板移動機構３０、型駆動機構５０によって移動させて洗浄槽８１に浸漬し、型１００の下面を洗浄液Ｌで超音波洗浄するようにした。 - 特許庁
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