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Deep RIEとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 深掘りRIE（ふかほりアールアイイー、Deep RIE）とは、反応性イオンエッチング (RIE) の一つで、アスペクト比の高い（狭く深い）反応性イオンエッチングをいう。
「Deep RIE」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 2件
Each of the acoustic holes 31 on the substrate 21 is formed by a dry etching method, specifically, a Deep RIE (ICP).例文帳に追加
第１の基板２１の各音響ホール３１は、ドライエッチング法、特にDeep RIE（ICP）で形成される。 - 特許庁
The deep trench is formed by means of a RIE in the semiconductor substrate through the etching resistance layer and the selective etching possible layer.例文帳に追加
深いトレンチを、耐侵食性層および選択エッチング可能層を経て半導体基板に、ＲＩＥによって形成する。 - 特許庁
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