MBE chamberとは 意味・読み方・使い方

In a raw material supply device 51 for MBE, an N radical gun 53 is held by a raw material chamber 55, which provides a space for plasma generation for the N radical gun 53.例文帳に追加

ＭＢＥ用の原料供給装置５１では、Ｎラジカルガン５３は原料チャンバ５５に保持されており、原料チャンバ５５はＮラジカルガン５３のためのプラズマ生成用の空間を提供する。 - 特許庁