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Micro Electronic Mechanical Systemsとは意味・読み方・使い方

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電気・電子用語集での「Micro Electronic Mechanical Systems」の意味

Micro Electronic Mechanical Systems

マイクロエレクトロメカニカル･システム

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例文

To provide a semiconductor device incorporated with an electronic device such as an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) element having a reduced element area, and also to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

素子面積を小さくしたＭＥＭＳ素子などの電子デバイスを組み込んだ半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

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