Proximity Alignerとは 意味・読み方・使い方

ELECTRON BEAM PROXIMITY ALIGNING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加

電子ビーム近接露光方法及び露光装置 - 特許庁

ELECTRONIC BEAM PROXIMITY ALIGNER AND MASK UNIT THEREFOR例文帳に追加

電子ビーム近接露光装置及びそのためのマスクユニット - 特許庁

SUPPORTING/FIXING STRUCTURE OF MASK FOR PROXIMITY FIELD EXPOSURE, AND PROXIMITY FIELD ALIGNER HAVING THE SAME例文帳に追加

近接場露光用マスクの支持固定構造、該支持固定構造を有する近接場露光装置 - 特許庁

PROXIMITY EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD USING THIS PROXIMITY ALIGNER例文帳に追加

プロキシミティ露光装置及びこのプロキシミティ露光装置を用いた露光方法 - 特許庁

GAP CONTROL METHOD FOR MASK AND WORK FOR PROXIMITY EXPOSURE AND PROXIMITY ALIGNER例文帳に追加

プロキシミティ露光におけるマスクとワークのギャップ制御方法およびプロキシミティ露光装置 - 特許庁

WAFER CONDUCTION MECHANISM, CONDUCTION METHOD AND ELECTRON BEAM PROXIMITY ALIGNER例文帳に追加

ウエハの導通機構、導通方法及び電子ビーム近接露光装置 - 特許庁

PATTERN FORMATION METHOD USING PROXIMITY FIELD LIGHT, AND ALIGNER例文帳に追加

近接場光を用いたパターン形成方法および露光装置 - 特許庁

ROTATION RETAINING APPARATUS, POSITION ADJUSTMENT APPARATUS, PROXIMITY PROJECTION ALIGNER, AND MASK RETAINING APPARATUS例文帳に追加

回転保持装置、位置調節装置、近接露光装置及びマスク保持装置 - 特許庁