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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 英和専門語辞典 > aligner stationの意味・解説 

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クロスランゲージ 37分野専門語辞書での「aligner station」の意味

aligner station


「aligner station」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 4



例文

This aligner connected to a network is provided with a retrieval means, which retrieves a compatible data file or program stored on another aligner 1, a work station 2, or a server 3.例文帳に追加

ネットワークに接続された露光装置1において、他の露光装置1、ワークステーション2、またはサーバ3に記憶されている互換性のあるデータファイルまたはプログラムを検索する検索手段を設ける。 - 特許庁

The FOUP unit connected to the semiconductor projection aligner is arranged at a position different from the connection direction of a coater developer, a wafer delivery station is put on the built-in elevator, and the wafer is carried in and out between the FOUP unit and the semiconductor projection aligner through the wafer delivery station.例文帳に追加

半導体露光装置に接続するFOUPユニットをコーターデベロッパーの接続方向とは別の位置に配置し、内蔵エレベータ上にウエハ受渡しステーションを載せ、このウエハ受渡ステーションを通してFOUPユニットと半導体露光装置の間でウエハの搬出入を行うようにした。 - 特許庁

A processing station S2, an interface station S3, and an aligner S4 are connected in this order to a cassette station S1, where wafer cassettes 22 are loaded or unloaded.例文帳に追加

ウエハカセット22を搬出入するカセットステ−ションS1に、処理ステ−ションS2とインタ−フェイスステ−ションS3と露光装置S4とをこの順に接続する。 - 特許庁

例文

The aligner 100 is provided with the measuring station 110 measuring alignment and a focus in a substrate P, an exposure station 120 scanning and exposing respective shot regions of the substrate P which are measured by the measuring station 110, and a main control part 141 controlling an exposure operation in the exposure station 120 based on a measured result in the measuring station 110.例文帳に追加

露光装置100は、基板Pに対してアライメント計測およびフォーカス計測を行う計測ステーション110と、計測ステーション110で計測された基板Pの各ショット領域を走査露光する露光ステーション120と、計測ステーション110での計測結果に基づいて露光ステーション120での露光動作を制御する主制御部141と、を有する。 - 特許庁

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