alignersとは 意味・読み方・使い方

The position and direction of the charged particle beam which illuminates the aperture diaphragm 14 is adjusted by aligners 19A and 19B.例文帳に追加

アライナー１９Ａ、１９Ｂにより、開口絞り１４を照明する荷電粒子線の位置と方向が調整される。 - 特許庁

To improve collectiveness and the operability with respect to programs and data files generated by other semiconductor aligners, etc.例文帳に追加

他の半導体露光装置等で作成されたプログラムおよびデータファイルに対する連携性や操作性を向上させる。 - 特許庁

To provide an exposure method, an aligner, and semiconductor devices manufactured using the aligner, where even with a plurality of aligners, the effects of nonlinear errors generated between the aligners is reduced as much as possible.例文帳に追加

複数台の露光装置を用いた場合においても、露光装置間に生じる非線形誤差による影響を可能な限り小さくすることのできる、露光方法、露光装置およびその露光装置を用いて製造された半導体装置を提供する。 - 特許庁

Basic data necessary for alignment accuracy corresponding to accuracy errors specific to the aligners 11-13 are recorded in a data base 2.例文帳に追加

データベース２には、露光装置１１〜１３の固有の精度誤差に応じた重ね合わせ精度に必要な基礎データが記録されている。 - 特許庁

The conventional optical aligners OST1 to OSTm (n and m: integer of more than two) are also provided adjacent thereto.例文帳に追加

それに並んで従来の光露光装置ＯＳＴ１〜ＯＳＴｍ（ｎ，ｍはそれぞれ２以上の整数）も併設されている。 - 特許庁

When it is necessary to minimize the influences of the lens distortion of the aligners, the processing history of the aligners is referred to based on ID information which is read by an ID reading unit, appropriate exposure is allocated, and exposure processing is conducted.例文帳に追加

露光装置のレンズディストーションの影響を最小化する必要がある場合、半導体ウェーハからＩＤ読み取りユニットで読み取ったＩＤ情報に基づいて、露光装置の処理履歴を参照し、適正な露光装置を割り付けて露光処理を行う。 - 特許庁

A connector 10 comprises: pre-aligners 20 having a plurality of terminal holding recesses 22; a plurality of terminals 30 each of which is fitted into and held by each of the plurality of terminal holding recesses 22 in a certain posture; and a housing body portion 40 that is metal-molded with the pre-aligners 20 inserted thereinto.例文帳に追加

端子保持凹部２２を複数有するプリアライナ２０と、複数の端子保持凹部２２のそれぞれに一定姿勢で嵌め込み保持された複数の端子３０と、プリアライナ２０をインサート物として金型成形されたハウジング本体部４０と、を備えるコネクタ１０。 - 特許庁

To achieve resolution exceeding the resolution limit of existing aligners by means of an aligner, manufactured through the existing aligner manufacturing technique.例文帳に追加

既存の露光装置の解像限界を越えた解像力を既存の露光装置製造技術で製造した露光装置により達成する。 - 特許庁