angular distribution measurementとは 意味・読み方・使い方

An angular intensity distribution of angularly filtered rays of light which form the measurement spot is more consistent, depending on the position along the measurement axis than the angular intensity distribution of the source light.例文帳に追加

測定スポットを形成する角度フィルタリング済みの光線の角度強度分布は、ソース光の角度強度分布よりも、測定軸に沿った位置に応じてより均一化している。 - 特許庁

A detector D is disposed on the downstream of a projection system PS, and this angular intensity distribution is measured by this detector to obtain a first measurement value.例文帳に追加

検出器Ｄを投影システムＰＳの下流に配置し、この検出器でこの角強度分布を測定し第１測定値を得る。 - 特許庁

By using the first, second, and third measurement values, the first and second directions of the lighting beam B and the change of the intensity of this angular intensity distribution are determined.例文帳に追加

上記第１、第２および第３測定値を使って、上記照明ビームＢの上記第１および第２方向、並びにこの角強度分布の強度の変化を決める。 - 特許庁

To provide a method of an absolute measurement of an angular intensity distribution when lighting beam is emitted from an illuminator, without the need for other reference and calibration, because lighting intensity of the lighting beam created by the illuminator of a lithography projection apparatus must be the same all over the angles.例文帳に追加

リソグラフィ投影装置の照明器が作る照明ビームの照明強度は、全ての角度に亘って同じであるべきであるので、この照明ビームが照明器を離れるときの角強度分布を、他の基準も較正も必要ない、絶対測定をする方法を提供する。 - 特許庁