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The surface plate for grinding in which a groove 10 for supplying and discharging abrasive is provided on a plate surface, has an arcwise part 13 in which a side surface and the bottom surface of a groove are smoothly connected by adopting groove cross-sectional shape.例文帳に追加
盤面に研磨剤給排用の溝13を備えた研磨用定盤において、溝断面形状が溝側面部と底面部とを滑らかに接続している弧状部13を有していること。 - 特許庁
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