clean feedsとは 意味・読み方・使い方

A wafer sheet-fed spin cleaning device feeds a cleaning liquid to front and rear surfaces of a substrate 102 and irradiates the front surface of the substrate 102 with ultraviolet rays and irradiates the rear surface with a high-frequency sound wave so as to clean the front and rear surfaces of the substrate 102.例文帳に追加

ウェハ枚葉スピン洗浄装置において、基板１０２の表裏面へ洗浄液を供給し、基板１０２の表面へ紫外線を照射するとともに裏面へ高周波音波を照射して、前記基板の表裏面を洗浄する。 - 特許庁

The cyclon dust collector X comprises a cyclon container body, clean gas discharging section 2, an introducing section 3 of gas to be processed interconnecting in the tangential direction, and a dust containing liquid discharging section and feeds a cooling fluid to the cyclon container body.例文帳に追加

サイクロン式集塵器Ｘは、サイクロン容器本体１と清浄気体排出部２と接線方向に連通の被処理気体導入部３と塵含有液排出部４を有し、さらに、サイクロン容器本体１に冷却用の流体を流動させるようにしてある。 - 特許庁

The ashing mechanism 19 feeds a reactive gas (ozone or the like) to the inside of the aligner apparatus, wherein the reactive gas such as ozone or the like removes the contamination adhering on each part inside the aligner apparatus by ashing to in-situ clean each part inside the aligner apparatus by the reactive gas.例文帳に追加

このアッシング機構１９は、露光装置内の各部に付着したコンタミネーションをアッシング除去する反応性ガス（オゾン等）を露光装置内に送り、このオゾン等の反応性ガスにより露光装置内の各部のｉｎ−ｓｉｔｕクリーニング等を行なう。 - 特許庁