compressive failureとは 意味・読み方・使い方

To improve a semiconductor device in wiring reliability by a method, wherein an organic insulating material is deformed by the compressive stress of a barrier metal layer of tantalum nitride or the like used for a groove wiring to deform a wiring groove, and troubles such as a failure in embedding a conductor by electrolytic plating due to the formation of a seed layer becoming insufficient in the groove is solved.例文帳に追加

溝配線で用いる窒化タンタル等のバリアメタル層の圧縮応力により有機絶縁体材料が変形され、溝配線で用いる溝が変形して、溝内へのシード層の形成が不十分となるために生じる電解めっきでの導電体の埋め込み不良を解決して、配線信頼性の向上を図ることを課題としている。 - 特許庁