conformation dependenceとは 意味・読み方・使い方

To provide a method of controlling a conformation of polycrystalline silicon formed when a polycrystalline silicon thin film is produced by the SLS crystallization method and a polycrystalline silicone thin film made by the method, and also to provide a TFT having an excellent characteristics free from the dependence of the TFT characteristics on the direction of an active channel, by making use of the polycrystalline silicon thin film produced by the above method.例文帳に追加

ＳＬＳ結晶化法で多結晶シリコン薄膜を製造する場合製造される多結晶シリコンの形状を制御する方法及びこれを利用して製造された多結晶シリコン薄膜の提供並びに、上記製造された多結晶シリコン薄膜を用いてアクティブチャネル方向によるＴＦＴ特性の依存性がない優秀な特性を有するＴＦＴを提供する。 - 特許庁