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The silicon chloride gas is preferred to be SiC14 (silicon tetrachloride) and Si2C16 (disilicon hexachloride), while the chlorosilane gas is preferred to be SiHC13 (trichlorosilane) and SiH2C12 (dichlorosilane).例文帳に追加
本発明で用いる塩化硅素ガスは、具体的にはＳｉＣｌ４（四塩化硅素）およびＳｉ２Ｃｌ６（六塩化二硅素）であり、本発明で用いるクロルシランガスは、具体的には、ＳｉＨＣｌ３（トリクロルシラン）およびＳｉＨ２Ｃｌ２（ジクロルシラン）である。 - 特許庁
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