dual-beam FIBとは 意味・読み方・使い方

In a dual beam system, the FIB is then adjusted accordingly to slice and mill a new face in the subsequent slice and view iteration, and the SEM images the new face.例文帳に追加

デュアル・ビーム・システムでは、次いで、これに応じてＦＩＢを調整して、後続のスライス・アンド・ビューの繰返しにおいて新しいフェースをスライシングし、ミリングし、ＳＥＭが、この新しいフェースを画像化する。 - 特許庁

The method allows a dual beam FIB/STEM system with a typical tilt stage having a maximum tilt of approximately 60 to be used to extract a STEM sample from a substrate, to mount the sample onto a TEM sample holder, to thin the sample using FIB milling and to rotate the sample so that the sample face is perpendicular to a vertical electron column for STEM imaging.例文帳に追加

方法は、約６０度の最大傾斜を有する典型的な傾斜ステージを有するデュアル・ビームＦＩＢ／ＳＴＥＭシステムが、基板からＳＴＥＭサンプルを抜き出し、ＴＥＭサンプル・ホルダ上にサンプルを搭載し、ＦＩＢミリングを使用してサンプルを薄化し、かつサンプル面がＳＴＥＭ撮像のために垂直電子カラムに垂直であるように、サンプルを回転するために使用されることを可能にする。 - 特許庁