electrical capacitance pressure sensorとは 意味・読み方・使い方

ELECTRICAL CAPACITANCE PRESSURE SENSOR例文帳に追加

静電容量型圧力センサ - 特許庁

ELECTRICAL CAPACITANCE PRESSURE SENSOR, SENSOR ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD FOR SENSOR ELEMENT例文帳に追加

静電容量式圧力センサ、センサ素子およびセンサ素子の製造方法 - 特許庁

ELECTRICAL CAPACITANCE TYPE PRESSURE SENSOR, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND SENSOR STRUCTURE BODY USED FOR THE SAME例文帳に追加

静電容量型圧力センサおよびその製造方法並びに静電容量型圧力センサに用いるセンサ用構造体 - 特許庁

The capacitor silicon sensor comprises a glass plate 120 having an electrode 121 and a diaphragm 103 formed from a semiconductor material, attached to the glass plate 120, forming a gap 115 including at least a part of the electrode 121 and a capacitor element and passing an electrical signal through so as to determine electrostatic capacitance for indicating the pressure to be determined when the capacitor silicon sensor is used.例文帳に追加

電極１２１を有するガラス製のプレート１２０と、半導体材料から形成されており、前記ガラス基板１２０に接着されており、少なくとも電極１２１の一部を含んでいる空隙１１５を形作り、それ故に容量式要素を形作り、それを通して、使用に際しては、決定される圧力を示すための静電容量を決定するために電気的信号が通過する隔膜１０３とかなる。 - 特許庁