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evening‐upの英語
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A cover which covers above the peripheral part of the coating liquid film is provided to form a space where solvent vapor locally stays in the peripheral part of the coating liquid film; the evaporation rate in the coating liquid film peripheral part is adjusted by controlling a size of the space during drying; and the film thickness ununiformity of the peripheral part is controlled by evening up the concentration distribution in the coating liquid film.例文帳に追加
塗布液膜の周縁部の上方を覆うようなカバーを設けて、塗布液膜の周縁部において局所的に溶媒蒸気が滞留する空間を作り、この空間の大きさを乾燥中に制御させることによって、塗布液膜周縁部での蒸発速度を調節し、塗布液膜内の濃度分布を均一にすることで周縁部の膜厚不均一を抑制する。 - 特許庁
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