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A purge gas is injected into the reaction chamber between two successive reactant gas injections to purge the chamber of any excess, that is unreacted reactant gas.例文帳に追加
パージガスが、２回の連続する反応物ガス注入の間に反応チャンバ内へ注入され、過剰つまり未反応の反応物ガスをいずれもチャンバからパージする。 - 特許庁
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