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The substrate holder support section (spider) 10 has a plurality of support arms 12 extended toward the radial outside and upper side from a central socket 14 that supports the lower side of the substrate holder such as susceptor.例文帳に追加
基板ホルダ支持部（スパイダ）１０は、サセプタ等の基板ホルダの下側を支える中央ソケット１４から半径方向外側かつ上側に向かって延びる複数の支持アーム１２を有している。 - 特許庁
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