focal doseとは 意味・読み方・使い方

The determined illumination source intensities maximize the integrated range of dose and focal variations that can be tolerated without causing the printed shapes to depart from the allowed range of shapes.例文帳に追加

決定された照明源強度により、印刷される形状が許容範囲の形状から外れることなく、許容し得るドーズ量および焦点の変動の統合範囲が最大になる。 - 特許庁

An X-ray CT apparatus includes: a scattered ray detector 6 for measuring the scattered dose to be made incident to the detector (the shift detector 5) for detecting the position deviation of an X-ray focal point 9; and a function of correcting the output of the shift detector 5 through the use of the scattered dose measured in the detector 6.例文帳に追加

上記課題克服の為、本発明では、Ｘ線焦点９の位置ずれを検出するための検出器（シフト検出器５）に入射する散乱線量を測定するための散乱線検出器６を設け、そこで計測した散乱線量を用いてシフト検出器５の出力を補正する機能を有することを特徴とする。 - 特許庁

This optimization method records control variables such as a control dose and a focal point, in each of processes in a double patterning lithographic process, and measures characteristics of intermediate features such as a critical dimension and a sidewall angle in a double patterning process.例文帳に追加

ダブルパターニングリソグラフィプロセスにおける工程のそれぞれにおける制御線量、焦点等の制御変数が、記録され、ダブルパターニングプロセスにおける、クリティカルディメンション、側壁部角度等の中間フィーチャの特性が、測定される。 - 特許庁

A method is provided, which prints a series of test patterns 200 on a test substrate using a lithography projection apparatus in order to measure a critical dimension printed as a function of a preset value of the amount of exposure dose and a preset value of focal length.例文帳に追加

印刷されたクリティカルディメンジョンを露光ドーズ量設定値および焦点設定値の関数として測定するために、リソグラフィ投影装置を使用して試験基板に一連の試験パターン２００を印刷する方法が提供される。 - 特許庁