fork chuckとは 意味・読み方・使い方

The protrusions 25a are disposed on the conveying fork 25 so that the place 81 of the wafer W held by the protrusions 25a of the conveying fork 25 differs from that 80 of the wafer W held by the protrusions 55a of the electrostatic chuck 55.例文帳に追加

突起部２５ａは、搬送フォーク２５の突起部２５ａによるウエハＷの保持箇所８１が静電チャック５５の突起部５５ａによるウエハＷの保持箇所８０と異なるように搬送フォーク２５上に配置されている。 - 特許庁

An electrostatic chuck 55 with a plurality of protrusions 55a is arranged to the upper section of the susceptor 45, and a conveying fork 25 with a plurality of the protrusions 25a holding the wafer W is disposed at the front end section of the conveying arm 17.例文帳に追加

サセプタ４５の上部には、複数の突起部５５ａを有する静電チャック５５が配置され、搬送アーム１７の先端部にはウエハＷを保持する複数の突起部２５ａを有する搬送フォーク２５が配置される。 - 特許庁