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When leakage positions LP of the purge gas exist in the respective lens-barrels 16, 17, 27 and the gas supply piping, temperature distribution wherein temperature decreases as going away from the leakage positions LP is generated on the outer surfaces of them.例文帳に追加
ここで、各鏡筒１６，１７，２７及び給気配管にパージガスの漏れ箇所ＬＰが存在すると、その外表面上に漏れ箇所ＬＰから遠ざかるに従って低くなるような温度分布が発生する。 - 特許庁
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