helicon wavesとは 意味・読み方・使い方

In this plasma treatment device, performing plasma treatment by introducing helicon waves into a workpiece W arranged inside a treatment vessel 14, the inside of each of vacuum vessels 11a and 11b for generating the helicon wave is divided into a plurality of sections by means of a wall face parallel to a magnetic field direction 20.例文帳に追加

処理容器１４内に配置されている被処理物Wにヘリコン波を導入することによりプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、ヘリコン波が発生する真空容器１１a、１１ｂの内部を磁場の方向２０と平行な壁面により複数に分割するプラズマ処理装置。 - 特許庁

Two bell-jars 1a and 1b, which are respectively provided with antennas 6a and 6b for generating helicon waves and coils 7a and 7b for generating a magnetic field on their peripheries, are made to communicate with a diffusion chamber 2 housed with a substrate 4 of a deposition object and are parallel-arranged.例文帳に追加

ヘリコン波発生用のアンテナ６ａ，６ｂ及び磁場発生用のコイル７ａ，７ｂを周囲に設けた２個のベルジャ１ａ，１ｂが、成膜対象の基板４を収容した拡散チャンバ２に連通させて並列に配設されている。 - 特許庁