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immersion cleaningとは 意味・読み方・使い方
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「immersion cleaning」の部分一致の例文検索結果
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IMMERSION OPTICAL DEVICE, CLEANING METHOD, AND IMMERSION EXPOSURE METHOD例文帳に追加
液浸光学装置、洗浄方法及び液浸露光方法 - 特許庁
CLEANING METHOD OF IMMERSION TYPE MEMBRANE MODULE AND IMMERSION TYPE MEMBRANE FILTERING APPARATUS例文帳に追加
浸漬型膜モジュールの洗浄方法および浸漬型膜ろ過装置 - 特許庁
METHOD OF CLEANING IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS, DUMMY WAFER, AND IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS例文帳に追加
液浸露光装置の洗浄方法、ダミーウェハ、及び液浸露光装置 - 特許庁
CLEANING FLUID FOR IMMERSION LITHOGRAPHY SYSTEM, AND IMMERSION LITHOGRAPHY PROCESS例文帳に追加
液浸リソグラフィシステム用洗浄液及び液浸リソグラフィ工程 - 特許庁
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「immersion cleaning」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 136件
IMMERSION PROJECTION ALIGNER MOUNTING CLEANING MECHANISM OF OPTICAL COMPONENT, AND IMMERSION OPTICAL COMPONENT CLEANING METHOD例文帳に追加
光学部品の洗浄機構を搭載した液浸投影露光装置及び液浸光学部品洗浄方法 - 特許庁
A cleaning member 1 for an immersion exposure device is used for cleaning the immersion exposure device.例文帳に追加
液浸露光装置用洗浄部材１は、液浸露光装置の洗浄に使用される。 - 特許庁
LIQUID IMMERSION PROJECTION EXPOSURE SYSTEM PROVIDED WITH CLEANING MECHANISM FOR OPTICAL COMPONENT AND METHOD OF CLEANING LIQUID IMMERSION OPTICAL COMPONENT例文帳に追加
光学部品の洗浄機構を備えた液浸投影露光装置および液浸光学部品洗浄方法 - 特許庁
CLEANING APPARATUS AND IMMERSION LITHOGRAPHIC APPARATUS例文帳に追加
クリーニング装置および液浸リソグラフィ装置 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING IMMERSION TYPE MEMBRANE SEPARATION DEVICE例文帳に追加
浸漬型膜分離装置の洗浄方法および洗浄装置 - 特許庁
METHOD OF CLEANING OPTICAL ELEMENT IN IMMERSION LITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸リソグラフィにおける光学素子の洗浄方法 - 特許庁
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