inhomogeneous substrateとは 意味・読み方・使い方

INHOMOGENEOUS SUBSTRATE INCLUDING SACRIFICIAL LAYER AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

犠牲層を含む不均質基板およびその製造方法 - 特許庁

To provide a development processing method for a substrate, the method preventing such a phenomenon that an eluted component from a resist by development is diffused in a developer solution to induce inhomogeneous development, and improving uniformity in the pattern dimension.例文帳に追加

現像によってレジストから溶出した成分が現像液中で拡散して現像処理が不均一となることを防止して、パターン寸法の均一性を向上させることができる基板の現像処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing apparatus of liquid crystal device which prevents a substrate from being exposed to plasma, prevents a chemical composition of the alignment film from growing inhomogeneous and, thereby, makes the formation of a satisfactory inorganic alignment film possible.例文帳に追加

基板がプラズマに晒されること、配向膜の化学組成が不均一になること、を防止し、良好な無機配向膜を形成できるようにした液晶装置の製造装置を提供する。 - 特許庁