integrated working faceとは 意味・読み方・使い方

This method is for working a silicon substrate 2 on whose surface a semiconductor integrated circuit formation area 34a in which a semiconductor integrated circuit is formed is provided so that this can be observed from the back face.例文帳に追加

本発明は半導体集積回路が形成された半導体集積回路形成領域３４ａを表面に有するシリコン基板２を、裏面から観測するために、加工する方法である。 - 特許庁

A Farady cup and an electrode to measure the surface potential are set on the same face as a substrate placing face, and the incident ion power is integrated on the basis of the measured result to estimate the extent of working.例文帳に追加

基板載置面と同一面にファラデーカップと表面電位を測定するための電極を設置し、測定結果に基づき入射するイオン電力を積算することで、加工量を推定する。 - 特許庁