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To obtain an extremely uniform film thickness distribution of ±0.5% or below without enlarging the size of a target and also lengthing the distance between the target and a substrate by fixing the relation between the diameter D of a revolving orbit and the distance H between the target and the substrate to the prescribed one, in a revolving/rotating substrate holder system.例文帳に追加
自公転式の基板ホルダー装置において、公転軌道の直径Ｄとターゲット・基板間距離Ｈとの関係を所定の関係に定めることにより、ターゲット・サイズをあまり大きくせずに、そして、ターゲット・基板間距離をあまり大きくせずに、±０.５％以下のきわめて良好な膜厚分布を得る。 - 特許庁
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