line division markとは 意味・読み方・使い方

A division region is set in a mask pattern, and a virtual line perpendicular to the pattern is set as a second positioning mark in each division region.例文帳に追加

マスタパターン中に分割領域を設定し、パターンと直交する仮想のラインを第２の位置決めマークとして設定することを分割領域毎に行う。 - 特許庁

In the second step, scanning is performed with the pulse laser light along a division-estimated line with a focus position of the light fixed, and a linear machining mark advancing from the backside of the substrate to a depth smaller than a depth up to a front side thereof is periodically formed along the division-estimated line.例文帳に追加

第２工程は、パルスレーザ光をその焦点位置を固定して分断予定ラインに沿って走査し、基板の裏面から表面に到達しない深さまで進行する線状加工痕を分断予定ラインに沿って周期的に形成する工程である。 - 特許庁