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To improve the production efficiency and stability of the quality of the deposition film by using a tantalum subjected to carbonization treatment in a high methane atmosphere and by permitting use of a plurality of times of the filament without replacement or exchange of the filament.例文帳に追加
高メタン雰囲気で炭化処理したタンタルフィラメントを用い、フィラメントの張替えや交換なしに複数回の使用を可能とすることにより、生産性や成膜品質の安定性を向上する。 - 特許庁
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