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To provide a semiconductor chip which is manufactured by a manufacturing method including a dividing step including a dicing step using laser light, in which a microfragment of a reformed region is prevented from being peeled off from a dividing surface of a semiconductor chip; and to achieve a manufacturing method thereof.例文帳に追加
レーザ光を用いたダイシング工程により割断する工程を含んだ製造方法により製造される半導体チップであって、半導体チップの割断面から改質領域の微小片が剥離することを防止可能な半導体チップ及びその製造方法を実現する。 - 特許庁
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