miller indicesとは 意味・読み方・使い方

Quadrangular pyramidal-shape recesses 2 being similar to the crystal defect and having a different size, are arranged and formed by anisotropically etching on an Si wafer 1 having Miller indices (110).例文帳に追加

面指数が（１１０）であるＳｉウエハ１に結晶欠陥に近似し大きさを異にした四角錐形凹所２が異方性エッチングで配列形成されている。 - 特許庁

When Miller indices of the silicon wafer 6 are (110), by setting the applying potential Va at a negative side from a rest potential Vr, etching restraining generation of micropyramids is enabled, and an etching surface is smoothed.例文帳に追加

シリコンウエハ６の面方位指数が（１１０）の場合には、印加電位ＶａをレストポテンシャルＶｒよりも負側に設定すると、マイクロピラミッドの発生を抑制したエッチングを行なえ、エッチング面は平滑化される。 - 特許庁

Three angles 2θ, ω, ϕ detectable by the diffracted X-ray are measured relative to at least three Miller indices by using the three-axis goniometer and the two slits 50, 52, and the lattice constant is calculated based thereon.例文帳に追加

この３軸ゴニオメータと二つのスリット５０，５２を用いて，少なくとも三つのミラー指数について，回折Ｘ線が検出できる三つの角度２θ，ω，φを測定し，それに基づいて格子定数を算出する。 - 特許庁