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minimum resist thicknessとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 最小レジスト厚
「minimum resist thickness」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
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In a region of the resist film where a transfer pattern is to be formed, the difference between the film thickness of the resist film at a position with the maximum thickness and at a position with the minimum thickness is not more than 50 Å.例文帳に追加
また、レジスト膜は、転写パターンが形成される領域において、膜厚の最も厚い位置におけるレジスト膜の膜厚と、膜厚の最も薄い位置におけるレジスト膜の膜厚との差異が５０オングストローム以下である。 - 特許庁
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1
最小レジスト厚
JST科学技術用語日英対訳辞書
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