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multilayer blankingとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 3件
MANUFACTURING METHOD OF MASK BLANKING SUBSTRATE, MANUFACTURING METHOD OF SUBSTRATE WITH MULTILAYER REFLECTIVE FILM, AND MANUFACTURING METHOD OF REFLECTIVE MASK BLANK AS WELL AS MANUFACTURING METHOD OF REFLECTIVE MASK例文帳に追加
マスクブランク用基板の製造方法、多層反射膜付き基板の製造方法、及び反射型マスクブランクの製造方法、並びに反射型マスクの製造方法 - 特許庁
A multilayer reflective film 2 and an absorber film 4 are formed on the obtained mask blanking substrate 1 to make the reflective mask blank 10, and the absorber film 4 in the reflective mask blank 10 is patterned to form an absorber pattern to make the reflective mask 20.例文帳に追加
得られるマスクブランク用基板１上に多層反射膜２及び吸収体膜４を形成して反射型マスクブランク１０とし、この反射型マスクブランク１０における吸収体膜４をパターニングして吸収体パターンを形成して反射型マスク２０とする。 - 特許庁
A multilayer reflective film 2 and an absorber film 4 are formed on the mask blanking substrate 1 to make the reflective mask blank 10, and the absorber film 4 in the reflective mask blank 10 is patterned to form an absorber pattern to make the reflective mask 20.例文帳に追加
このマスクブランク用基板１上に多層反射膜２及び吸収体膜４を形成して反射型マスクブランク１０とし、この反射型マスクブランク１０における吸収体膜４をパターニングして吸収体パターンを形成して反射型マスク２０とする。 - 特許庁
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