nanoindenterとは 意味・読み方・使い方

The nanoindenter hardness of the second layer 82 at the outmost side is regulated so as to be lower than that of the first layer 81 of an intermediate layer.例文帳に追加

最表層側の第２層（82）のナノインデンタ硬度は、中間層側の第１層（81）のナノインデンタ硬度よりも低くなるように成形される。 - 特許庁

The substrate has at least the silicon resin film for antireflection and the photoresist film sequentially formed on the organic film, wherein the silicon resin film for antireflection has a hardness by a nanoindenter of 0.4-1.1 GPa.例文帳に追加

少なくとも、有機膜の上に、反射防止用ケイ素樹脂膜、その上にフォトレジスト膜を順次形成した基板であって、前記反射防止用ケイ素樹脂膜が、ナノインデンターによるハードネスが０．４ＧＰａ以上１．１ＧＰａ以下のものであることを特徴とする基板。 - 特許庁

The lubricant film 80 contains a binder comprising a polyamideimide resin, a solid lubricant comprising a polytetrafluoroethylene, and an abrasion-resistant agent comprising a fluoride and aluminum oxide, and has ≥0.1 GPa and ≤0.5 GPa hardness measured by a nanoindenter method.例文帳に追加

潤滑膜（80）は、ポリアミドイミド樹脂から成るバインダと、ポリテトラフルオロエチレンから成る固体潤滑剤と、フッ化物及び酸化アルミニウムから成る耐摩耗剤とを含んでおり、ナノインデンタ法によって測定される硬度が、０．１ＧＰａ以上０．５ＧＰａ以下となっている。 - 特許庁