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In a method for manufacturing an AlGaAs semiconductor laser having a window structure, oxide films are removed from the end faces 8 of a resonator by heat-treating the end faces 8 in a phosphorus-containing atmosphere and, at the same time, the end faces 8 are nonactivated by forming phosphorus adsorbing layers 10 after the end faces 8 are formed in a semiconductor layer constituting a laser structure.例文帳に追加
窓構造を有するＡｌＧａＡｓ系半導体レーザの製造方法において、レーザ構造を形成する半導体層に共振器端面８を形成した後、共振器端面８をリンを含む雰囲気中で熱処理して、共振器端面８から酸化膜９を除去すると共に、共振器端面８をリン吸着層１０によって非活性化する。 - 特許庁
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