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particle growth mechanismとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 粒子成長機構
「particle growth mechanism」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
The flow rate of the counter purge gas is changed at the switching of gaseous species, thus preventing infiltration of particle generated inside the treatment chamber 1 into a rotation mechanism part, a heater part, or the like, and generation of abnormalities in the vapor growth apparatus 40 due to particles.例文帳に追加
カウンタパージガスはガス種切り替え時に流量が変更され、処理チャンバ1内部に発生するパーティクルの回転機構部やヒータ部などへの侵入、或いはパーティクルによる気相成長装置40の異常発生を防止する働きをする。 - 特許庁
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粒子成長機構
英和専門語辞典
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