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perfluoroethylとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 ペルフルオロエチル
「perfluoroethyl」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
The resist film 102 is formed on a substrate 101, the film being formed from a resist material containing a perfluoroethyl acrylate that is a monomer containing a halogen atom (fluorine) and stable against an acid, a polyperfluoroethyl acrylate that is a polymer containing fluorine and stable against an acid, a polymer containing an acid-labile group, and a photo-acid generator.例文帳に追加
まず、基板１０１の上に、ハロゲン原子（フッ素）を含み且つ酸に安定なモノマーであるパーフルオロエチルアクリレートと、フッ素を含み且つ酸に安定なポリマーであるポリパーフルオロエチルアクリレートと、酸不安定基を含むポリマーと、光酸発生剤とを有するレジスト材料からレジスト膜１０２を形成する。 - 特許庁
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