platform furnaceとは 意味・読み方・使い方

A sealed furnace platform 11 includes a plurality of raised silicon core bars 13, introduction ports 15 for supplying source gas, and a discharge port 16 for discharging reacted gas, where the silicon core bars are disposed so as to satisfy at least one of the following conditions (1) to (3).例文帳に追加

密閉された反応炉の炉台１１に、立設された複数のシリコン芯棒１３と、原料ガスを供給する導入口１５と、反応後のガスを排気する排気口１６を有し、シリコン芯棒が、下記の条件（１）から（３）のうちの少なくとも１つを満たすように配置されている。 - 特許庁