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「poly amino carboxylic acid」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
The cleaning agent which is used after a chemical-mechanical polishing process in the semiconductor device having the copper wiring on the surface comprises an organic acid (A) and poly amino carboxylic acid (B) having a sulfone group or a phosphon group as a substituent.例文帳に追加
半導体デバイス製造工程において、表面に銅配線を有する半導体デバイスの化学的機械的研磨工程の後に用いられる洗浄剤であって、(A)有機酸と、(B)スルホン基またはフォスホン基を置換基として有するポリアミノカルボン酸とを含有する洗浄剤である。 - 特許庁
ウィキペディア英語版での「poly amino carboxylic acid」の意味 |
Polyamino carboxylic acid
出典:『Wikipedia』 (2010/12/18 23:37 UTC 版)
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